BM9 - InterMETAL

58 METROLOGIA VAD Instrument escolhe leitores óticos UHV da Renishaw para as suas plataformas de movimento A tecnologia de vácuo é utilizada em muitos processos de fabrico de alta precisão. As aplicações mais habituais são a inspeção e união de placas semicondutoras, fotolitografia e deposição de películas finas. As plataformas de movimento são parte integral destes procedimentos complexos, pelo que devem ser compatíveis com ambientes de vácuo. Os leitores óticos UHV Tonic da Renishaw são expressamente concebidos para compartimentos de alto e ultra-alto vácuo, e cumprem os estritos requisitos dos FPD e dos equipamentos de processamento de semicondutores. A VAD Instrument, com sede na Coreia do Sul, fabrica uma ampla gama de plataformas de movimento de precisão para semicondutores, FPD e aplicações eletrónicas. A VAD escolheu o leitor UHV Tonic e o leitor laser de fibra ótica RLE da Renishaw para a sua última gama de plataformas compatíveis com vácuo, com desempenho de controlo de movimento melhorado. OS OBJETIVOS Para gerar vácuo de alta qualidade ou ultra-alto vácuo (UHV), antes de mais, elimina-se o ar num compar- timento fechado (câmara de vácuo) através de uma série de bombas. Muitos processos industriais de pre- cisão modernos são realizados num ambiente de vácuo para minimizar o impacto dos contaminantes do ar. As plataformas de movimento com- patíveis com vácuo são constituídas por rolamentos, calhas-guia, fusos e motores especificamente concebidos. A dissipação do calor domotor implica por vezes um problema para o vácuo, pelo que se deve regular rigorosamente através de sistemas de refrigeração. Uma condição prévia dos compo- nentes compatíveis com vácuo é a redução ao mínimo da emissão de gases, em conformidade com a aná- lise de gás residual (RGA), tornando-se insignificante. Os componentes dos leitores óticos, como a cabeça de leitura e a régua, instalados no interior de uma câmara de vácuo, têmdiferentes características, como resistência a altas temperaturas (>100 °C) para resistirem aos procedi- mentos de aquecimento necessários para UHV. Isto exige limpeza para eli- minar as marcas da superfície, óleo e lubrificantes; grelhas de ventilação